GP200 – GDY WYSOKA DOKŁADNOŚĆ JEST WYMOGIEM PROCESOWYM
Różnicowo-ciśnieniowy regulator masowego przepływu serii GP200 firmy Brooks Instrument, to unikalnej konstrukcji technicznej urządzenie, które przekracza dotychczasowe ograniczenia standardowych regulatorów masowego przepływu.
Seria GP200 umożliwia bardzo dokładny przepływ gazu w procesie o zmiennych warunkach. To pierwszy w pełni niewrażliwy na ciśnienie regulator masowego przepływu (P-MFC – Pressure-Mass Flow Controller), zaprojektowany specjalnie dla zaawansowanych procesów wytrawiania i osadzania w produkcji półprzewodników.
NowościGP200 – REGULATORY MASOWEGO PRZEPŁYWU OPARTE NA CIŚNIENIU
P-MFC serii GP200 posiada opatentowaną budowę, która pokonuje ograniczenia konwencjonalnych P-MFC, aby zapewnić najdokładniejsze zasilanie gazem procesowym, nawet przy niskim ciśnieniu par gazu procesowego. Zawiera on kilka unikalnych cech konstrukcyjnych, w tym zintegrowany czujnik ciśnienia różnicowego połączony z architekturą zaworu typu „downstream”, co umożliwia najbardziej dokładny przepływ gazu procesowego w najszerszym zakresie warunków pracy w branży.
OBSZARY ZASTOSOWAŃ:
- Produkcja półprzewodników
- Trawienie
- Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD)
- Aplikacje kontroli przepływu gazu wymagające wysokiej czystości całej ścieżki przepływu.
Jeśli materiał nie odtwarza się, podajemy odnośnik do serwisu YT: https://www.youtube.com/watch?v=ZWB03A_9fo8
DLACZEGO WARTO WYBRAĆ GP200
Ponieważ seria GP200 obsługuje bardzo szeroki zakres warunków procesowych, może być stosowana jako zamiennik typu „drop-in” i uaktualnienie dla wielu tradycyjnych P-MFC i termicznych MFC (Mass Flow Controller). Zmniejsza złożoność i koszt posiadania systemu przepływu gazu, ponieważ eliminuje konieczność stosowania takich elementów jak reduktory ciśnienia i konwertery.
Zmniejszona niepewność pomiaru przy użyciu czujnika ciśnienia różnicowego, zapewnia najwyższą dokładność i powtarzalność pomiaru przepływu.
Odpowiedni dla wszystkich warunków procesowych, ciśnień i gazów.
Dokładne i powtarzalne dostarczanie gazu, 2,5-krotnie szybsza stabilizacja przepływu dla zwiększenia przepustowości.
Korzyści:
- Poprzez usunięcie wymogu dopasowania i kompensacji dwóch oddzielnych przetworników ciśnienia, technologia ciśnienia różnicowego GP200 zmniejsza niepewność pomiaru zapewniając większą dokładności, powtarzalność i precyzję działania.
- Praca przy niższych ciśnieniach wlotowych jest teraz możliwa z P-MFC dzięki przetwornikowi ciśnienia różnicowego GP200, który jest specjalnie zoptymalizowany do pomiaru niskich ciśnień różnicowych.
- Budowa zaworu downstream zapewnia, że dokładność jest niezależna od ciśnienia downstream, umożliwiając dostarczanie przepływu w ciśnieniu tak wysokim jak 1200 Torr. Zawór szybkozamykający rozwiązuje problem nieproduktywnego czasu oczekiwania na proces, czyli "efektu ogona", obserwowanego w konstrukcjach zaworów MFC, które wymagają dodatkowego czasu na upuszczenie wewnętrznej objętości gazu.
- Ultraszybki, wysoce powtarzalny czas stabilizacji przepływu w górę i w dół umożliwia dokładniejszą kontrolę procesu w zaawansowanych, wysokocyklowych procesach osadzania i wytrawiania.
- 100-krotnie lepsze zamknięcie zaworu.
- Dzięki MultiFlow™, pełnowymiarowy zakres przepływu MFC może być zmniejszony o współczynnik 3:1 bez wpływu na dokładność, przepływ oraz szczelność, co zapewnia optymalną elastyczność procesu.
- Wygodny wyświetlacz użytkownika i niezależny port diagnostyczny/serwisowy ułatwiają instalację, monitorowanie i rozwiązywanie problemów z urządzeniem.
Funkcje:
- Pomiar prawdziwej różnicy ciśnień
- Praca przy niższym ciśnieniu wejściowym
- Architektura zaworów dolnego biegu
- Dostosowana reakcja w stanie przejściowym
- Zero przecieków przez zawór sterujący
- Technologia MultiFlow™ oferuje niezrównaną elastyczność - jedno urządzenie może być zaprogramowane dla tysięcy różnych konfiguracji gazu i przepływu bez konieczności odłączania MFC od linii gazowej lub zmniejszania dokładności.
- Lokalny wyświetlacz pokazuje przepływ, temperaturę, ciśnienie i adres sieciowy.
- DeviceNet™, EtherCAT®, protokół RS-485 L oraz interfejsy analogowe.
Dawid Mieszkowski 
